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    微机电系统技术及应用
    课程类型：选修课
    主讲教师：
    课程来源：
    建议学分：3.00分
    课程编码：ayxtzx0966
    课程介绍
    课程目录
    教师团队
    课程概论
    s 什么是微机电系统 （3分钟）
    s 机电系统微型集成化的意义 （3分钟）
    s 微尺度效应 （7分钟）
    s MEMS发展历史 （6分钟）
    s 本课程学习内容与学习方法 （5分钟）
    MEMS加工技术
    s MEMS与半导体平面加工技术 （3分钟）
    s 光刻工艺 （17分钟）
    s 薄膜沉积工艺 （8分钟）
    s 刻蚀工艺 （12分钟）
    s 掺杂工艺 （2分钟）
    s MEMS器件的加工过程 （4分钟）
    微压阻式压力传感器
    s MEMS压力传感器的工作原理 （4分钟）
    s 微尺度膜片及其特性 （5分钟）
    s 微尺度应变器及其特性 （5分钟）
    s 应变器电阻变化的电学测量 （6分钟）
    s 应变器在膜片上的布置 （4分钟）
    s 一个实例及压力传感器封装问题 （3分钟）
    硅微麦克风
    s MEMS麦克风的工作原理 （4分钟）
    s 微尺度电容器及其特性 （6分钟）
    s 准静态模型及线性化 （7分钟）
    s 电容信号的检测方法 （7分钟）
    s 硅微麦克风的加工及封装 （6分钟）
    s 微压电式麦克风 （4分钟）
    微惯性传感器
    s MEMS加速度计的工作原理 （6分钟）
    s 微尺度的梁和弹簧 （8分钟）
    s MEMS压阻式加速度计 （2分钟）
    s 差分电容检测方式 （4分钟）
    s ADXL系列加速度计 （4分钟）
    s MEMS陀螺 （6分钟）
    s 微惯性测量组合及其应用 （2分钟）
    静电微执行器
    s 静电微执行器的工作原理 （6分钟）
    s 基于平行平板电容器的微执行器——弯曲式 （12分钟）
    s 基于平行平板电容器的微执行器——扭转式 （8分钟）
    s 基于梳状叉指电容器的微执行器 （9分钟）
    s 静电微马达 （6分钟）
    压电微执行器
    s 压电材料与压电效应 （6分钟）
    s 微系统中的压电薄膜 （7分钟）
    s 微尺度压电单元的驱动特性 （6分钟）
    s 压电微镜 （4分钟）
    s 压电微泵 （9分钟）
    微流控器件
    s 微流控系统概述 （4分钟）
    s 微尺度流道与流体 （10分钟）
    s 微流体驱动——压差驱动 （4分钟）
    s 微流体驱动——毛细管驱动 （5分钟）
    s 微流体驱动——电动驱动 （8分钟）
    s 芯片PCR （6分钟）
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